1. في التطبيقات الهندسية العملية أضرارصمام فحص الويفر ذو اللوحة المزدوجةs يحدث لأسباب عديدة.
(1) تحت قوة تأثير الوسط، تكون منطقة الاتصال بين جزء التوصيل وقضيب تحديد المواقع صغيرة جدًا، مما يؤدي إلى تركيز الضغط لكل وحدة مساحة، وصمام فحص الرقاقة المزدوج معطوب بسبب قيمة الإجهاد المفرطة.
(2) في العمل الفعلي، إذا كان ضغط نظام خطوط الأنابيب غير مستقر، فإن الاتصال بين قرصصمام فحص الرقاقة المزدوج وسوف يهتز قضيب تحديد المواقع ذهابًا وإيابًا ضمن زاوية دوران معينة حول قضيب تحديد المواقع، مما يؤدي إلى ظهور القرص وقضيب تحديد المواقع. ويحدث الاحتكاك بينهما مما يؤدي إلى تفاقم تلف جزء الاتصال.
2. خطة التحسين
وفقا لشكل الفشل الصمام فحص الويفر ذو اللوحة المزدوجة، يمكن تحسين هيكل قرص الصمام وجزء الاتصال بين قرص الصمام وقضيب تحديد المواقع للتخلص من تركيز الضغط في جزء الاتصال، وتقليل احتمالية فشلصمام فحص الرقاقة المزدوجقيد الاستخدام، وإطالة فترة الفحص. عمر الخدمة للصمام. القرصالصمام فحص الويفر ذو اللوحة المزدوجة ويتم تحسين وتصميم الاتصال بين القرص وقضيب تحديد المواقع على التوالي، ويتم استخدام برنامج العناصر المحدودة للمحاكاة والتحليل، ويتم اقتراح مخطط محسن لحل مشكلة تركيز الإجهاد.
(1) تحسين شكل القرص، وتصميم الأخاديد على القرصصمام الاختيار لتقليل جودة القرص، وبالتالي تغيير توزيع قوة القرص، ومراقبة قوة القرص والاتصال بين القرص وقضيب تحديد المواقع. حالة القوة. هذا الحل يمكن أن يجعل قوة قرص الصمام أكثر تجانسًا، ويحسن بشكل فعال تركيز الضغط في الصمامصمام فحص الويفر ذو اللوحة المزدوجة.
(2) تحسين شكل القرص، وتنفيذ تصميم سماكة على شكل قوس على الجزء الخلفي من قرص صمام الفحص لتحسين قوة القرص، وبالتالي تغيير توزيع قوة القرص، مما يجعل قوة القرص أكثر اتساقًا، وتحسين فحص الفراشة لتركيز إجهاد الصمام.
(3) تحسين شكل جزء الاتصال بين قرص الصمام وقضيب تحديد المواقع، وإطالة جزء الاتصال وتكثيفه، وزيادة مساحة الاتصال بين جزء الاتصال والجزء الخلفي من قرص الصمام، وبالتالي تحسين تركيز الضغط في صمام فحص الويفر ذو اللوحة المزدوجة.
وقت النشر: 30 يونيو 2022
